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本实用新型公开了一种多功能检测装置，包括测试模块。测试模块包括物镜和光收集构件，物镜可移除地设置在第一安装位置，光收集构件可拆卸地设置在第一安装位置或第二安装位置。光收集构件安装在第二安装位置时，光收集构件通过物镜对半导体样品进行微区角度分...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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