下载阵列基板及其制备方法、显示装置的技术资料

文档序号:37605830

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本申请公开了一种阵列基板及其制备方法、显示装置,制备方法包括提供基板,沉积第一透明金属氧化物导电层;采用第一道光罩对第一透明金属氧化物导电层图案化,形成公共电极与透明导电层;采用等离子还原性气体对透明导电层还原形成底栅;沉积缓冲层和有源层;...
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