下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:37604291

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一种半导体结构及其形成方法,所述形成方法,在支撑层和牺牲层中形成若干电容孔后,在电容孔的侧壁表面形成外电极层;在外电极层侧壁表面形成电介质层;去除外电极层之间剩余的牺牲层,在去除剩余的牺牲层的位置形成空腔;在电介质层的表面以及电容孔的底部表...
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