下载输送等离子体处理原料的方法和装置的技术资料

文档序号:37604275

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本申请涉及用于将液体或固体原料输送到等离子体处理容器中的方法和装置。更具体地,本发明提供了一种在包括处理容器的装置中使用辉光放电等离子体处理样品的方法,该方法包括(i)在气体流量控制器的控制下通过气体输送管线将气态等离子体形成原料输送到处理...
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