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用于抛光钨或钼的化学机械抛光组合物，其包含以下组分、基本上由以下组分组成、或由以下组分组成：基于水的液体载剂；分散于该液体载剂中的研磨剂颗粒；选自精氨酸、组氨酸、半胱氨酸、赖氨酸及其混合物的氨基酸；阴离子型聚合物或阴离子型表面活性剂；及任选...
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