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本申请公开一种硅基晶圆及制备方法,涉及微电子技术领域。一种硅基晶圆,包括:硅基衬底,包括功能区域和静电检测区域;所述功能区域用于设置功能器件,所述静电检测区域设置有静电检测电路。通过设置静电检测区域,利用静电检测区域设置的静电检测电路,对硅...该专利属于云南创视界光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南创视界光电科技有限公司授权不得商用。
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