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本发明提供了一种膜体声波谐振器、滤波器、通信模块和通信设备。 该膜体声波谐振器具有衬底、形成在衬底上的下电极、形成在下电极上的 压电薄膜、形成在压电薄膜上的上电极、以及邻近于上电极和衬底之间的 压电薄膜而部署的绝缘膜，该绝缘膜位于上电极和衬...
该专利属于富士通株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士通株式会社授权不得商用。

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