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制备ZnAl靶材的方法以及制得的ZnAl靶材技术
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文档序号:3759927
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提供了一种制备ZnAl合金靶材的方法,所述方法包括以下步骤:(1)提供锌粉和铝粉的混合物;(2)通过放电等离子烧结工艺烧结锌粉和铝粉的混合物得到ZnAl合金。还提供了一种由上述方法得到的ZnAl合金靶材。...
该专利属于E.I.内穆尔杜邦公司所有,仅供学习研究参考,未经过E.I.内穆尔杜邦公司授权不得商用。
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