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本实用新型公开了一种反射率光学测量装置及半导体成膜设备，装置包括：面光源、光学组件和光探测模块；面光源用于发射入射探测光；光学组件位于面光源和光学视窗之间，用于使入射探测光经过光学组件后通过光学视窗投射至待测对象的被测面上，并使被被测面反射...
该专利属于楚赟科技（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟科技（绍兴）有限公司授权不得商用。

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