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本发明公开了本发明优选实施例中公开了多弧及磁控复合溅射阴极，包括安装架、升降装置、阴极磁板和靶面板；所述升降装置包括安装板、联轴器、升降轴和升降头；所述安装板设置在所述安装架的底部；所述联轴器设置在所述安装板的底部；所述升降轴与所述联轴器传...
该专利属于深圳市科和盛业技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市科和盛业技术有限公司授权不得商用。

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