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本发明涉及芯片技术领域，具体地说是一种基于镭射开封机的样品自适应定位系统。包括底座，其特征在于：所述的底座下端设有Z向定位机构，底座上端一侧设有X向定位机构，X向定位机构上端设有样品载台，样品载台一侧设有Y向定位机构，所述的X向定位机构包括...
该专利属于紫光宏茂微电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过紫光宏茂微电子（上海）有限公司授权不得商用。

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