下载等离子体处理的方法和装置的技术资料

文档序号:37590496

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本发明涉及一种在包括处理容器、电极、对电极和电源的装置中使用辉光放电等离子体处理样品的方法,电源包括一个或多个变压器并且具有第一变压器设置和第二变压器设置,方法包括:(i)装载步骤,包括将样品装载到处理容器中;(ii)第一处理步骤,包括通过...
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