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中空微针阵列的制备方法及器件技术
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文档序号:37588483
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本发明涉及一种中空微针阵列的制备方法及器件。其包括:提供能制备中空微针阵列的微针硅模板;以微针硅模板作为母板,制备与微针硅模板相一致的低熔点合金模板;在低熔点合金模板上制备模板聚合物层,所述模板聚合物层覆盖低熔点合金模板的工作面;去除低熔点...
该专利属于苏州研材微纳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州研材微纳科技有限公司授权不得商用。
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