下载半导体结构的制造方法及半导体结构的技术资料

文档序号:37584311

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本申请提供一种半导体结构的制造方法及半导体结构,方法包括:提供衬底,衬底包括多个有源区、位于相邻两个有源区之间的隔离结构以及位于有源区上的绝缘层,其中,隔离结构的厚度与绝缘层的厚度不同;在衬底上形成缓冲层;在缓冲层上形成第一掩膜层;利用第一...
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