下载一种高低温热台及使用该高低温热台的探针台的技术资料

文档序号:37582904

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本实用新型涉及一种高低温热台及使用该高低温热台的探针台。该热台包括壳体,壳体内部设有陶瓷发热体,陶瓷发热体上方设有放置块,壳体上侧面设有出口以使放置块上侧面露出。放置块上设置有腔体,放置块上设有冷却介质进口和冷却介质出口,壳体上设有冷却介质...
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