温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及大型石英盘清洗技术领域，且公开了一种大型石英盘化学清洗工装，包括，两个固定板和两个侧板，且两个固定板和两个侧板相连接形成一个上下贯通的长方体箱体，两个所述固定板和两个侧板相连接形成的长方体箱体内部设有放置单元以用于将石英盘放置...
该专利属于杭州睿昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州睿昇半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。