一种大型石英盘化学清洗工装制造技术

本实用新型专利技术涉及大型石英盘清洗技术领域，且公开了一种大型石英盘化学清洗工装，包括，两个固定板和两个侧板，且两个固定板和两个侧板相连接形成一个上下贯通的长方体箱体，两个所述固定板和两个侧板相连接形成的长方体箱体内部设有放置单元以用于将石英盘放置在长方体箱体内，所述放置单元包括设在长方形箱体内的支撑件和限位件，所述支撑件为对称设在固定板侧面上的两组支撑杆，所述支撑杆的两端分别连接在两个固定板的侧面上，且石英盘放置在两组支撑杆上。本实用新型专利技术解决了现有的大型石英盘清洗装置在对石英盘进行清洗时，清洗效果不佳且不便于进行放入和取出的问题。不佳且不便于进行放入和取出的问题。不佳且不便于进行放入和取出的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种大型石英盘化学清洗工装


[0001]本技术涉及大型石英盘清洗
，具体为一种大型石英盘化学清洗工装。

技术介绍

[0002]大型石英盘在生产过程中，需要对石英盘的表面进行清洗以去除其表面所形成的氧化膜，而常用的清洗方法为采用化学试剂对石英盘进行浸泡冲洗来去除石英盘表面形成的氧化膜。
[0003]现有的大型石英盘清洗装置在对石英盘进行清洗时，一般是直接将石英盘放入清洗箱内，然后向清洗箱内注入适量的化学试剂将石英盘浸泡在里面，并且保持清洗箱内的化学试剂处于流动状态以对石英盘进行冲洗，而当石英盘直接被放置在清洗箱内时，石英盘一般是直接平置在清洗箱底部，这就使得石英盘与清洗箱底部接触的侧面无法与化学试剂充分接触而降低了该侧面的清洗效果，同时不便于石英盘放入清洗箱内或从清洗箱内取出的工作。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种大型石英盘化学清洗工装，解决了现有的大型石英盘清洗装置在对石英盘进行清洗时，清洗效果不佳且不便于进行放入和取出的问题。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大型石英盘化学清洗工装，其特征在于：包括，两个固定板(1)和两个侧板(2)，且两个固定板(1)和两个侧板(2)相连接形成一个上下贯通的长方体箱体，两个所述固定板(1)和两个侧板(2)相连接形成的长方体箱体内部设有放置单元(3)以用于将石英盘(4)放置在长方体箱体内，所述放置单元(3)包括设在长方形箱体内的支撑件(31)和限位件(32)。2.根据权利要求1所述的一种大型石英盘化学清洗工装，其特征在于：所述支撑件(31)为对称设在固定板(1)侧面上的两组支撑杆(311)，所述支撑杆(311)的两端分别连接在两个固定板(1)的侧面上，且石英盘(4)放置在两组支撑杆(311)上。3.根据权利要求2所述的一种大型石英盘化学清洗工装，其特征在于：所述限位件(32)为对称设在固定板(1)上的两组限位杆(321),两组所述限位杆(321)分别位于两组支撑杆(311)的两侧，且两组限位杆(321)位于两组支撑杆(311)的上侧。4.根据权利要求3所述的一种大型石英盘化学清洗工装，其特征在于：所述放置单元(3)还包括开...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁鼎，陈燕，祝郑庆，
申请(专利权)人：杭州睿昇半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：