下载半导体元件拾取装置及其工作控制方法的技术资料

文档序号:37579883

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本发明公开一种半导体元件拾取装置及其工作控制方法,是通过掌握真空拾取器的马达工作状态,并基于工作状态来判断真空拾取器的下降高度,从而能够校正根据各种情况的真空拾取器的准确的下降高度的技术。器的准确的下降高度的技术。器的准确的下降高度的技术。...
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