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半导体元件拾取装置及其工作控制方法制造方法及图纸
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文档序号:37579883
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本发明公开一种半导体元件拾取装置及其工作控制方法,是通过掌握真空拾取器的马达工作状态,并基于工作状态来判断真空拾取器的下降高度,从而能够校正根据各种情况的真空拾取器的准确的下降高度的技术。器的准确的下降高度的技术。器的准确的下降高度的技术。...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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