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本实用新型提供了一种CMP冷却器水循环抛光板装置，其包括设置于旋转主轴单元上部的冷却抛光板结构，所述的冷却抛光板结构由抛光板本体和冷却水循环板组成，所述的抛光板本体置于冷却水循环板的上部，所述的冷却水循环板与抛光板的接触面上设置冷却水循环流...
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