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本发明提供了一种多晶硅的制备方法，包括如下步骤：先将工业硅颗粒与氯化氢在氯硅烷反应堆中进行反应，生成三氯氢硅和／或四氯化硅和氢气；然后将生成物中的固体物和气体分离，分离后的固体物进入氯硅烷提纯系统进行提纯，同时将分离后的气体进入氯化氢与氢气...
该专利属于桑中生所有，仅供学习研究参考，未经过桑中生授权不得商用。

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