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一种缺陷检查装置，包括：一取像装置，是用以撷取一待测物件的影像；一第一光源装置，用以发射一主要光束；该主要光束是与该待测物件呈第一预定角度，且该第一预定角度的范围为６０度至９０度；至少一第二光源装置，用以发射一辅助光束；该辅助光束是与该待测...
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