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本发明要解决的技术问题是，提供能够使开口区域的位置精度提高的蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模的制造方法中，在支承基板上隔着基底金属层形成具有规定的图案的光致抗蚀剂层，以支承基板的第一面与水平面垂直的方式配置支承基板，测量支承基板的第一翘曲量，在...
该专利属于株式会社日本显示器所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日本显示器授权不得商用。

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