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本发明提供了一种蓝宝石衬底稳定抛光去除率的方法及装置，通过将金刚石微粉、抛光液原液、水按一定比例进行混合制得抛光混合液，并通过抛光管道滴入抛光装置的抛光垫中，使抛光混合液渗入抛光垫上蓝宝石衬底的抛光面，由于金刚石微粉硬度高，不与碱反应，且不...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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