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预测校准安排装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:37509612
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执行一种用于安排与光源中的光学设备相关的校准的方法。该方法可以由包括校准装置和预测控制器的校准系统执行。该方法包括:在光学设备正在被校准时接收与光学设备相关联的属性;至少基于光学设备属性来计算当前退化度量,退化度量对光学设备的行为进行建模;...
该专利属于西默有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西默有限公司授权不得商用。
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