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一种摩擦辅助快速电铸铜方法技术
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文档序号:37506972
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本发明公开了一种摩擦辅助快速电铸铜方法,采用陶瓷微珠摩擦与高速电铸喷液相结合的方式,将电流密度设置在预设的密度范围阈值内,在回转体阴极上方设置喷头将硫酸盐电铸液高速喷射冲刷阴极上表面以减薄扩散层;同时通过在回转体阴极下表面设置陶瓷微珠同步摩...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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