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本发明提供了一种物料传输控制方法、工艺腔室模块及半导体工艺设备。该方法应用于半导体工艺设备，可以随机械手的取物料动作或放物料动作进行物料信息传递。本发明实施例可以在物料的流动过程中实现物料信息传递和数据摆渡，随着机械手对物料的取放，物料承载...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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