下载检测装置、检测方法、存储介质的技术资料

文档序号:37504800

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本申请公开了一种检测装置、检测方法和存储介质。检测装置用于检测滤光片模块。检测装置包括照明模块、物镜、预设样本、透镜、图像探测模块和图像分析模块。照明模块用于发出激发光。滤光片模块可以滤除杂散光及改变激发光的传播方向。物镜用于会聚激发光线。...
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