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本发明提供了用于高精度磨盘平面度检测的在机测量装置，包括：测头、气阀和供气组件；测头的下盘面与磨盘的上盘面贴合，气阀密封设于测头上，供气组件连接气阀并在测量时向气阀和测头进行气体供给用以磨盘精度检测；在测头的中轴线位置处开设有贯穿测头的通气...
该专利属于新昌浙江工业大学科学技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过新昌浙江工业大学科学技术研究院授权不得商用。

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