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本发明提供一种晶圆盒的开合盖装置，所述装置包括：底座、锁匙、翻盖单元、伸缩单元；所述底座设于晶圆盒的底侧，用于承载晶圆盒；所述锁匙与盒盖的锁芯相配合，用于将所述盒盖锁定于所述晶圆盒或解除所述盒盖与所述晶圆盒的锁定；所述翻盖单元与所述锁匙连接...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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