下载测试方法及装置的技术资料

文档序号:37502871

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种测试方法及装置。该方法包括:通过控制连接在晶体管栅极与晶体管衬底之间电源向晶体管栅极施加偏置电压;检测多个偏置电压所对应的衬底交流电流,其中,衬底交流电流是在偏置电压的基础上对晶体管栅极施加的扰动信号的响应电流;其中,晶体管在...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。