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本发明涉及一种提高制程物容纳能力的真空泵组件及干式真空泵，包括前轴承板、上壳体、下壳体、长转子、短转子、后轴承板；所述长转子、短转子分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转，所述长转子、短转子的旋转轴的轴线互相平行设置；所述长转子、短转子各自分别包...
该专利属于北京通嘉宏瑞科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京通嘉宏瑞科技有限公司授权不得商用。

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