一种提高制程物容纳能力的真空泵组件及干式真空泵制造技术

本发明专利技术涉及一种提高制程物容纳能力的真空泵组件及干式真空泵，包括前轴承板、上壳体、下壳体、长转子、短转子、后轴承板；所述长转子、短转子分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转，所述长转子、短转子的旋转轴的轴线互相平行设置；所述长转子、短转子各自分别包括多级转子，所述多级转子在所述长转子、短转子各自的旋转轴的轴线方向上间隔排列；所述长转子、短转子的多级转子对应地彼此啮合，并且在转子相互啮合的非关键面设置有贮尘槽。本发明专利技术提高了制程物的容纳能力，有效的避免因制程物附着造成的泵卡死、磨损现象。磨损现象。磨损现象。

【技术实现步骤摘要】
一种提高制程物容纳能力的真空泵组件及干式真空泵


[0001]本专利技术涉及真空泵
，尤其涉及一种提高制程物容纳能力的真空泵组件及干式真空泵。

技术介绍

[0002]真空泵的用途是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。主要应用在制药和化工、真空镀膜、真空干燥、表面处理、真空冶炼、陶瓷制造、食品包装、挤奶、饮料等行业。
[0003]真空泵的转子两轴线互相平行，转子由叶轮与轴组合而成，叶轮之间、叶轮与机壳及墙板之间具有微小间隙，以避免相互接触。两转子由电动机通过一对同步齿轮驱动，做方向相反的等速旋转。借助于两叶轮的相互啮合，泵进、排气口不直接想通，叶轮与机壳及墙板围成封闭的基元容积，随着叶轮的持续转动，基元容积一直处于吸气—压缩—输送—排气的循环状态，不断将腔内空气、粉尘排出到泵外、以达到工艺要求。
[0004]市场上干式真空泵种类有很多。使用工艺不同，需要泵的类型也不同。例如现有技术CN110741165A公开了一种双轴真空泵，包括：两个协作的转子，其被构造成绕平行的旋转轴线沿相反方向旋转；定子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述真空泵组件包括：前轴承板（1）、上壳体（2）、下壳体（3）、长转子（4）、短转子（5）、后轴承板（6）；所述长转子（4）、短转子（5）分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转，所述长转子（4）、短转子（5）的旋转轴的轴线互相平行设置；所述长转子（4）、短转子（5）各自分别包括多级转子，所述多级转子在所述长转子（4）、短转子（5）各自的旋转轴的轴线方向上间隔排列；所述长转子（4）、短转子（5）的多级转子对应地彼此啮合，并且在转子相互啮合的非关键面设置有贮尘槽。2.根据权利要求1所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述真空泵组件包括：所述长转子（4）、短转子（5）的多级转子中的每一级垂直于旋转轴线的剖面呈Y字三叶形轮廓，所述长转子（4）、短转子（5）旋转时，每级一个转子的远离该级另一转子的叶顶端与所述上壳体（2）、下壳体（3）的内侧壁形成密封；所述转子相互啮合的非关键面，具体是指所述多级转子中的每一级不与所述上壳体（2）、下壳体（3）的内侧壁形成密封的部分以及转子之间的非叶峰、叶谷相互啮合的部位。3.根据权利要求1所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述长转子（4）、短转子（5）的多级转子中的每级转子，延所述旋转轴线方向的轴向，从进气到排气方向，长度逐级递减。4.根据权利要求1所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述长转子（4）上设置的所述贮...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏民，雷晓宏，雷晓波，彭冲，
申请(专利权)人：北京通嘉宏瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：