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一种磁控溅射和共蒸发法组合工艺，制备铜铟镓硒软体太阳能电池的方法其特征在于：清洗后的基材带箔在张力卷绕机（１），的拖动下，均速依次通过真空隔离窄缝伐（１７－１－３）进入真空室（２），（３），（４）溅镀ＭＯ，Ｃｒ背电极，通过窄缝伐（１７－４）...
该专利属于郭玉钦所有，仅供学习研究参考，未经过郭玉钦授权不得商用。

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