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本发明公开了一种图像传感器及其制备方法,该图像传感器包括半导体衬底,所述半导体衬底具有第一表面和第二表面;设于半导体衬底内的感光单元;覆盖于所述半导体衬底第一表面上的金属互连层及介质层;覆盖于所述半导体衬底第二表面上的光线入射层;依次层叠覆...该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种图像传感器及其制备方法,该图像传感器包括半导体衬底,所述半导体衬底具有第一表面和第二表面;设于半导体衬底内的感光单元;覆盖于所述半导体衬底第一表面上的金属互连层及介质层;覆盖于所述半导体衬底第二表面上的光线入射层;依次层叠覆...