下载一种金属掩膜版原材及加工工艺的技术资料

文档序号:37500424

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本发明公开一种金属掩膜版原材及加工工艺,以质量%计,Si%<0.01,Al%<0.01,Mg%<0.001,O%<0.001,0.2<Mn%<0.4,35....
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