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本发明涉及微电子机械系统（ＭＥＭＳ），更具体地，涉及使用磁性致动的ＭＥＭＳ开关。该ＭＥＭＳ开关可以在没有内部功耗的情况下致动。该开关以集成固态ＭＥＭＳ技术来形成。ＭＥＭＳ开关是微米级和／或纳米级，非常可靠和精确。ＭＥＭＳ开关可以被设计成各种...
该专利属于意法半导体亚太私人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体亚太私人有限公司授权不得商用。

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