【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微电子机械系统(MEMS)，更具体地，涉及使用磁性致动的MEMS开关。
技术介绍
—些相关技术的电子开关是通过例如干簧继电器之类的电子电路来控制的。干簧 继电器是一种电子开关并且是一种在很多应用中广泛使用的常见电子部件。通常，干簧继 电器包括具有两个金属触点的玻璃封装。金属触点可以利用磁场来致动。相关技术的干簧 继电器对于很多应用而言非常大型、脆弱而且不可靠。 一些其他相关技术的电子开关基于 磁效应，例如霍尔效应或巨磁阻效应(GMR)。此类电子开关是干簧继电器开关的较好替代 品，但是他们具有功耗方面的缺陷。亦即，当越来越多的电子电路应用是通过电池来操作的 时候，具有功耗的集成开关的益处是有问题的。
技术实现思路
因此，本专利技术针对一种微电子机械系统，其基本上消除了由于相关技术的局限和 缺点所导致的一个或多个问题。 本专利技术的有益效果是提供一种以集成固态MEMS技术来形成的MEMS开关。 本专利技术的另一有益效果在于提供一种以微米级或纳米级来形成操作非常可靠和精确的MEMS开关。 本专利技术的又一有益效果在于提供一种具有悬臂架构的MEMS开关。 ...
【技术保护点】
一种微电子机械系统（ＭＥＭＳ）开关，包括：衬底；所述衬底上的输入触点；所述衬底上的输出触点；以及可移动结构，其被支撑在所述衬底的至少一部分上，其中，所述可移动结构包括邻近端部、中间部分和末梢端部，并且所述可移动结构被支撑在所述输入触点的至少一部分上，并且其中，所述开关能够在施加外部磁场的时候进行致动。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐敏，G诺维罗，F伊塔利阿，
申请(专利权)人：意法半导体亚太私人有限公司，
类型：发明
国别省市：SG[新加坡]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。