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本申请提供了一种用于水导激光加工的原位在机测量系统和激光加工设备,包括测量光源、耦合器、光学延迟线、立体分束器和解算部,耦合器与测量光源相连接,以将测量光源发出的光分为原位测量光和测量参考光,光学延迟线与耦合器相连接,以调整测量参考光的光程...该专利属于中科德迈(沈阳)激光技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中科德迈(沈阳)激光技术有限公司授权不得商用。
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