下载一种碳化硅清洗装置及其清洗方法的技术资料

文档序号:37497519

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本发明公开了一种碳化硅清洗装置及其清洗方法,其属于碳化硅清洗领域。它主要包括一个以上的清洗箱,清洗箱内设有清洗机构,清洗箱两侧分别设有移动组件,移动组件上设有用于打捞杂质的筛选机构,清洗箱一端设有可翻转的过滤分离机构,过滤分离机构上方设有与...
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