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检查方法、检查装置以及检查用程序制造方法及图纸
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文档序号:3749648
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提供在检查基板时能根据被检查部位种类等来进行检查且能缩短检查时间的检查方法、检查装置及检查用程序。由X射线源输出且透过检查对象即基板的X射线被FPD(平板检测器)拍摄成X射线透视图像。用于生成X射线CT的重建数据的拍摄与用于生成X射线照相组...
该专利属于欧姆龙株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。
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