检查方法、检查装置以及检查用程序制造方法及图纸

提供在检查基板时能根据被检查部位种类等来进行检查且能缩短检查时间的检查方法、检查装置及检查用程序。由Ｘ射线源输出且透过检查对象即基板的Ｘ射线被ＦＰＤ（平板检测器）拍摄成Ｘ射线透视图像。用于生成Ｘ射线ＣＴ的重建数据的拍摄与用于生成Ｘ射线照相组合的重建数据的拍摄。同样地，在以Ｘ射线源（２）的光轴（Ｌ）为轴的假想圆上的位置（３０１～３０８）进行。然后，在生成Ｘ射线ＣＴ的重建数据时，针对在各位置（３０２～３０８）得到的Ｘ射线透视图像，根据假想圆（３００）上的旋转位置，利用仿射变换来使各图像以各Ｘ射线透视图像的中心为轴旋转，使得如同在各位置（３０２Ａ～３０８Ａ）拍摄得到，在这样进行数据转换后进行滤波处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种检查方法、检查装置以及检查用程序，特别是涉及通过生成x射线断层图像来对检查对象物进行检查的检查方法、检查装置以及检查用程序。
技术介绍
作为以安装了元件的基板为对象，利用X射线来生成断层图像，并使用所生成的图像来检查元件侧电极与基板的接合状态、锡焊电极的内部结构等的方法的一个例子，有X射线CT (Computed Tomography :计算机断层摄影法)。 在专利文献1 (日本特开2006-292465号公报)中，公开了使用X射线CT来检查基板的技术的一个例子。 参照图18A，在专利文献1中公开了使成为检查对象的基板920上的凸块(bump)移动至X射线检测器950的视场内，从而取得X射线图像的技术。X射线检测器950能够在将从X射线发生器900的焦点F向铅垂方向延伸的轴A作为中心的半径R的圆周上旋转。a是X射线检测器950相对于轴A的倾斜角度。在此，X射线检测器950进行旋转动作，并且基板920在XY平面内移动以使作为检查对象的凸块包含在旋转后的X射线检测器950的视场内。在将基板920在Z轴方向上的位置固定的状态下，移动X射线检测器950的视场区域F0V，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查方法，通过Ｘ射线检测部拍摄由Ｘ射线源输出且透过了检查对象物的检查对象区域的Ｘ射线，根据拍摄得到的图像来重建上述检查对象区域的三维图像，并使用重建得到的三维图像来检查上述检查对象区域，其特征是，包括：在假想圆上改变上述Ｘ射线检测部的位置的步骤，该假想圆位于与上述Ｘ射线源的光轴水平交叉的假想平面上且以上述光轴为中心，在该假想圆上的多个位置中的各位置上，使上述Ｘ射线检测部进行Ｘ射线透视拍摄的步骤，基于上述Ｘ射线检测部的Ｘ射线透视拍摄的结果，生成Ｘ射线ＣＴ图像的步骤，基于与生成上述Ｘ射线ＣＴ图像时所使用的Ｘ射线透视拍摄的结果相同的Ｘ射线透视拍摄的结果，生成Ｘ射线照相组合的断层图像的步骤；在改变...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：太田佳秀，加藤训之，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]