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提供一种薄膜晶体管和薄膜晶体管阵列基板及其制造方法。薄膜晶体管的制造方法在布置覆盖半导体层的栅极绝缘膜的步骤及布置覆盖所述栅极绝缘膜的防扩散膜的步骤之后包括如下步骤：通过对所述防扩散膜和所述栅极绝缘膜进行图案化而布置半导体层的第一电极区域的...
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