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提供一种基板处理装置和基板处理方法。本发明的一实施例涉及的基板处理装置可以包括：静电卡盘，具有上表面以及与所述上表面相向的下表面，所述上表面是由第一方向以及与所述第一方向交叉的第二方向定义的；支承部，沿着与所述第一方向及所述第二方向交叉的第...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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