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本发明涉及高纯气（或电子气）中痕量气态杂质分析方法和装置。１、传统制冷方法只能测定到－６０－－７０℃。本发明采用的浸渍制冷方法和降低镜面的降温速率，以增加“结露”的灵敏度。具有测试灵敏度高、消耗液氮低和制造的露点测试仪器成本低的特点。最低能...
该专利属于尹恩华所有，仅供学习研究参考，未经过尹恩华授权不得商用。

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