下载一种具有稳定气流场的沉积腔的技术资料

文档序号:37488502

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本发明涉及一种具有稳定气流场的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所...
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