下载一种半导体芯片测试装置的技术资料

文档序号:37488356

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本实用新型公开了一种半导体芯片测试装置,包括:壳体、动力装置、测试板、探针、承接机构、限位机构,壳体的内底面设有动力装置,所述动力装置通过输出轴与测试板的底面连接,所述测试板的顶面设有多个探针,所述探针的上方设有承接机构,所述承接机构设置在...
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