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激光加工装置、及激光加工方法制造方法及图纸
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文档序号:37485052
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本公开的激光加工装置,用于对具有结晶结构的对象物照射激光来形成改性区域,其具备:支撑部,其用于支撑所述对象物;照射部,其用于朝向所述支撑部所支撑的所述对象物照射所述激光;移动部,其用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动;以及控制部...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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