下载用于晶圆级封装的共晶键合方法的技术资料

文档序号:37481122

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本发明提供一种用于晶圆级封装的共晶键合方法,所述共晶键合方法包括步骤:提供一第一晶圆,于所述第一晶圆上形成第一叠层,所述第一叠层包括含有第一金属的层和含有第二金属的层,所述第一金属与所述第二金属相比具有更强的抗氧化性;提供一第二晶圆,于所述...
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