下载电容式压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:37481112

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本发明涉及压力传感器领域,具体涉及一种电容式压力传感器及其制备方法,极大地提高了电容式压力传感器的灵敏度。本发明电容式压力传感器,包括多孔液态金属电极、离子凝胶介电层、第一电极以及第二电极,第一电极覆盖在多孔液态金属电极的上表面,多孔液态金...
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