电容式压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及压力传感器领域，具体涉及一种电容式压力传感器及其制备方法，极大地提高了电容式压力传感器的灵敏度。本发明专利技术电容式压力传感器，包括多孔液态金属电极、离子凝胶介电层、第一电极以及第二电极，第一电极覆盖在多孔液态金属电极的上表面，多孔液态金属电极的下表面与离子凝胶介电层的上表面连接，离子凝胶介电层的下表面覆盖有第二电极；所述多孔液态金属电极在承受外力时会发生形变，同时离子凝胶介电层的上表面电荷密度增加，当外力撤除时，形变将会恢复，同时离子凝胶介电层的上表面电荷密度将会回复原状。本发明专利技术适用于压力传感器。感器。感器。

【技术实现步骤摘要】
电容式压力传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及压力传感器领域，具体涉及一种电容式压力传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]近年来，微电子领域的发展开始在柔性电子领域聚焦，柔性电子器件在无线健康监测，传感器网络，新型人机交互以及智能穿戴等领域具有巨大的应用前景。要使压力传感器能够应用在智能穿戴等领域，需要提高压力传感器的柔性。
[0003]目前的压力传感器如CN107101754A公开的“具有多孔石墨烯泡沫结构的压力传感器及其制备方法”，技术方案包括电极、多孔石墨烯泡沫结构，用银浆作为所述多孔石墨烯泡沫结构和电极的连接，以增加导电性，所述电极为铝条、银丝、铜片中的一种，电极通过银浆粘接在所述多孔石墨烯泡沫结构的上下两面。主要利用石墨烯轻、薄、强度大、柔韧性好等特点，提高了传感器的测量应用范围，但是其灵敏度较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种电容式压力传感器及其制备方法，在具备高柔性度的同时极大地提高了电容式压力传感器的灵敏度。
[0005]本专利技术采取如下技术方案实现上述目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.电容式压力传感器，其特征在于，包括多孔液态金属电极、离子凝胶介电层、第一电极以及第二电极，第一电极覆盖在多孔液态金属电极的上表面，多孔液态金属电极的下表面与离子凝胶介电层的上表面连接，离子凝胶介电层的下表面覆盖有第二电极；所述多孔液态金属电极在承受外力时会发生形变，同时离子凝胶介电层的上表面电荷密度增加，当外力撤除时，形变将会恢复，同时离子凝胶介电层的上表面电荷密度将会恢复原状。2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述离子凝胶介电层的凝胶材质为聚乙烯醇或聚丙烯酰胺或纤维素或壳聚糖。3.根据权利要求1或2所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述离子凝胶介电层的离子供体为磷酸分子和/或氯化钠和/或氯化钾和/或氯化锂。4.根据权利要求3所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述离子凝胶介电层的厚度为0.1～1mm。5.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述多孔液态金属电极为不同组分的镓铟锡液态合金。6.根据权利要求5所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘芳吉，马立泰，汪俊，
申请(专利权)人：成都泽康智骨科技有限公司，
类型：发明
国别省市：